In besonders anspruchsvollen Fällen der Produktentwicklung und Kundenunterstützung werden Methoden wie z. B. Auger-Elektronenspektrometrie (AES), röntgeninduzierte Fotoelektronenspektroskopie (XPS) sowie Sekundärionen-Massenspektroskopie (SIMS) eingesetzt, um örtliche Oberflächenanalysen und Konzentrationstiefenprofile zu ermitteln.
Dünne verunreinigte Schichten, Rhodiumoxidabscheidungen und Spurenverunreinigungen, die während des Betriebs auftreten und damit die Effizienz der Katalysatoren beeinträchtigen können, können zuverlässig analysiert und nachgewiesen werden, um zukünftig die Betriebsparameter zu optimieren.